粗拋形成的表層損傷是次要的考慮，不過X63W臥式銑床也應當盡可能小；其次是精拋(或稱終拋)，銑床X53K其目的是去除粗拋產生的表層損傷，X63W臥式銑床使拋光損傷減到最小。磨光機拋光時，銑床X53K試樣磨面與拋光盤應絕對平行并均勻地輕壓在拋光盤上，X63W臥式銑床注意防止試樣飛出和因壓力太大而產生新磨痕。銑床X53K還應使試樣自轉并沿轉盤半徑方向來回移動。